単結晶基板取扱いご注意事項

単結晶基板をご購入前に下記注意事項をご一読下さいませ。

面粗さ保証値について

　　　エピ研磨品の面粗さ保証値は以下の通りとなります。

　　　Ra < 0.5nm (typ. < 0.3nm)

　　　光学研磨品は研磨手法の違いから、上記を満たしません。

　　　NaCl単結晶基板は材質の都合上、上記を満たしません。

基板の清浄度について

　　　一般洗浄を実施しておりますがご使用前に洗浄されることをお勧めします。

外観検査基準について

　　　基板エッジ部の微細なチッピングは不問とさせていただきます。

　　　片面研磨品の裏面キズ、シミは不問とさせていただきます。

結晶性について

　　　LaAlO3基板には双晶があります。

　　　SrTiO3基板、TiO2基板、YSZ基板、MgO基板には製造方法の性質上、Rocking Curve測定においてピーク割れが見られる場合があります。

品質保証には万全を期しておりますがご不明点がございましたら、お問い合わせください。